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　　低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的原理制作的真空泵。低溫泵是獲得清潔真空的壓力更低、抽氣速率更大的真空泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。

　　一般提到的低溫泵的使用介質(zhì)溫度稍微高點(diǎn)的在零下30攝氏度，更低的在零下220攝氏度，在設(shè)計師要考慮到材料的低溫性能，抗沖擊性(主要是Ak值)，介質(zhì)的理化性能，尤其像液氧液氮液氬液化天然氣這些介質(zhì)的揮發(fā)性。

　　根據(jù)這些性能考慮密封結(jié)構(gòu)。該泵一般采用的是填料密封。密封造價比較低廉。低溫泵是在石油、化工裝置中用來輸送液態(tài)烴、液化天然氣以及冷凍裝置中的液態(tài)氧、液態(tài)氮等液化氣的特殊泵，因此它又稱深冷系。

　　總體結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

　　立式結(jié)構(gòu)：適于埋裝在地下，不會受電動機(jī)熱風(fēng)、空氣溫度和日照等影響，易于保冷;能降低泵的吸上高度，增加灌注頭，提高有效汽蝕余量;立式結(jié)構(gòu)還有利于排氣，使懸掛軸有足夠高度便于布置軸封裝置，故該泵也稱為立式筒型泵。

　　對稱結(jié)構(gòu)：泵的總體結(jié)構(gòu)力求對稱布置，以便在冷態(tài)下能均勻變形。

　　雙層殼體：為了保冷方便和有利于輸送危險介質(zhì)，通常都制成雙層殼體，內(nèi)殼里面承受泵壓，內(nèi)外殼之間是吸入壓力，這樣可適當(dāng)降低內(nèi)殼的強(qiáng)度要求。

　　低溫泵的類型

　　A.活塞式、柱塞式

　　這類泵一般用在氣體的充裝，化工流程里(比如往化學(xué)反應(yīng)釜里加入高壓氮?dú)?、二氧化氮、二氧化碳?，冶金工程(鋼廠的煉鋼爐內(nèi)輸氣，作為輸送泵用，流量一般沒離心式的大，但是可以有效提供輸氣壓力)

　　B.離心式

　　離心式的低溫液體泵一般用在從一個低溫液體容器把液體輸送到另外一個容器中，或作為空分中的流程泵進(jìn)行使用(大流量的)，這種泵一般密封采用的是機(jī)械密封或迷宮密封等形式，密封造價比較高。

　　低溫泵軸封

　　填料軸封：不同于一般的普通型式，采用雙層填料密封，在兩層之間設(shè)有一層密封腔，從外界通入一種氣體(如氮?dú)?，起密封作用。

　　機(jī)械密封：機(jī)械密封也不同于普通型式，采用雙端面機(jī)械密封，在密封室和泵體之間設(shè)有緩沖室，可起隔冷作用，同時使密封液壓力能適應(yīng)排液壓力的變化，為此，一般都配備了衡壓器，隔冷槽等附屬設(shè)備。

　　軸承：上軸承接近大氣溫度，一般采用推力滾珠軸承;下軸承為滑動軸承，浸沒在工作介質(zhì)中運(yùn)轉(zhuǎn)，并用工作介質(zhì)進(jìn)行潤滑;為了防止由摩擦發(fā)熱而引起液體汽化，以致破壞潤滑，必須使用潤滑性好的材料，如四氟乙烯、石墨、耐蝕鎳合金等;與滑動軸承對磨的軸頸進(jìn)行表面氮化處理或堆焊硬質(zhì)合金。

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